TM-200

両面顕微鏡位置ずれ計測システム

TM-200

AF機能を搭載し表裏の位置ずれを高精度自動計測!

約300万画素 カラー Camera Link

製品の特徴

  • 小型化高精度化し、両面の位置ずれを±1umで測定
  • FA自動化へ対応可能なシステム
  • 両面ともにAFを搭載可能で、再現性が高い計測が可能
  • 下側にIRカメラも搭載可能で、内部の位置ずれも計測可能

用途

【観察】
 
電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体などの表裏同時観察、動画記録

  • 落射、透過、落射+透過撮影が可能。
  • 表裏同時観察、画像ファイリング、動画記録、表裏重ね合わせ表示、手動寸法測定。

 
 

【寸法・表裏位置ずれ計測】
 
プリント基板貫通穴、メッシュフィルター、水晶振動子などの表裏位置ずれ計測、寸法計測

  • 表裏カメラ座標を校正し、位置ずれ計測。
  • エッジを自動で検出し、測定個人差の無い表裏パターンの線幅/寸法計測。

特徴

仕様

光学系
鏡筒 正立+倒立
対物レンズ 5倍、10倍、20倍、50倍から選択
オートフォーカス あり(正立、倒立)
粗微動調整 電動(正立、倒立)
XYステージ 手動 X:80mm Y:80mm
照明
  白色LED(PC制御)
カメラ
台数 2台(正立、倒立)
画素数 約300万画素
撮像サイズ 約1/1,8型
映像方式 カラー
映像出力 CameraLink
制御部
PC(OS) Windows10
制御内容 カメラ、照明
表示モニター 上下2画面同時表示
ソフトウェア
システム制御
光軸/倍率補正
両面観察、画像ファイリング
両面映像動画記録
両面映像重ね合わせ表示
位置ずれ手動計測/自動計測 ○/△オプション
微小寸法手動計測/自動計測 ○/△オプション
段差計測 △オプション
厚み計測 ×
測定精度
  表裏位置ずれ計測:±1μm

 

※測定精度はサンプルの種類や状態により変わります。