TM-100

表裏ミクロ計測システム

TM-100

昨今、電子部品は益々微小になりかつ精密に成ってきました。部品は積層や表裏構造が当たり前の時代です。 この顕微鏡は、表裏パターンの位置関係、微小寸法測定、高さ、段差測定、さらに厚みまでの計測可能な画期的システムです。

撮影モード

s-1

光学系の調整機能

s-2

「光軸調整方法」動画

光軸調整方法

「電子芯出し方法」動画

電子芯出し方法

「上下ゼロ原点校正方法」動画

上下ゼロ原点校正方法

観察、手動計測

m-1

【概要】
■落射、透過、落射+透過同時撮影が可能
■表裏同時観察、画像ファイリング、動画記録、
表裏重ね合わせ表示、手動寸法計測が可能
【用途】
■電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体などの観察
■メッシュフィルター、水晶振動子、電子部品等の表裏観察

s-3

「電子ペーパー粒子泳動観察」
動画

電子ペーパー粒子泳動観察

「微小線幅半自動計測」
動画

微小線幅半自動計測

「上下映像重ね合わせ、ずれ量計測」
動画

上下映像重ね合わせ、ずれ量計測

段差、厚み計測

m-2

【概要】
■段差、厚み測定用ターゲットマークを搭載し、ワーク表面に
ピントを合わせることで、段差、厚み測定が可能
【用途】
■ガラス、フィルム、水晶振動子や電子部品の配線パターン、
塗膜の段差、厚み測定

s-4

「厚み計測」動画

厚み計測

「段差計測」動画

段差計測

自動寸法計測、裏表位置ずれ計測

m-3

【概要】
■AF機能や自動計測で測定個人差の無い表裏線幅/
寸法計測が可能
■表裏カメラ座標を校正し、位置ずれ計測が可能
【用途】
■メッシュフィルター、水晶振動子等の微小寸法計測
■メッシュフィルター、インクジェットノズル、
水晶振動子等の表裏位置ずれ測定

s-5

「表裏微小寸法自動計測」動画

表裏微小寸法自動計測

 

詳しくはこちらから→http://microeye.jp/kenb.html