LW-3200/MT-3200

微小線幅測定システム

LW-3200/MT-3200

様々な半導体シーンに対応した高精度デジタルカメラ方式の測定器。高速顕微鏡 AF画像取り込みとボトム、インサイド等の設定やプロファイル表示等の線幅に特化した機能で高精度自動測定が可能。

約 320 万画素 55fps Cマウント Camera Link

仕様

製品名 LW-3200 / MT-3200
撮像素子 1/1.8型 CMOS デジタルカメラ
有効画素数 2,016(H)×1,536(V) 約 320 万画素
映像出力 CameraLink
デジタル画像測定器 線幅測定
測定再現性 3σ=0.01μm(対物100倍、基準スケールをAF動作にて繰り返し測定
最小表示 0.001μm
線幅エッジ検出 内―内、外―外、内―外、ボトムーボトムなど選択可能
校正値 レンズ倍率にあわせて50種類登録が可能
データ出力 測定データをCSV方式として保存可能
コンピュータ部とOS PC/AT互換機,Windows 10
外部インターフェイス RS232C USB2.0/3.0 LAN
オートフォーカスユニット
(オプション)
デジタルカメラの映像信号の画像処理
合焦精度 対物レンズの焦点深度の約1/3
AF検出位置 映像視野内の任意の位置と領域の設定でAF可能
Z軸制御 専用5相ステッピングモーターカプラ使用
Z軸分解能 0.005μm

製品特徴

線の種類に応じて、様々なエッジ検出指定が可能

 

傾いている線も、検出した線に対して垂直に測定が可能

 

測定可能内容
ALMeasure:線幅、円径
MILETOS:線幅、円径、円弧、面積、角度、エッジ、間隔

 

簡単操作、高精度AFと組み合わせ可能(オプション)
高精度な寸法測定には個人差の無いピント合わせが必須。
ピント位置による測定誤差を防ぎます。

AF操作画面
 

Mimic-AF

カメラ仕様(MAR-300B/C)

撮像素子 1/1.8型CMOSモノクロ/カラー
読取方式 グローバルシャッター
有効画素数 2,016(H) X 1,536(V) 約320万画素
画素サイズ 3.45(H) X 3.45(V) µm
フレームレート 55fps
映像出力 Mini Camera Link PoCL出力
取付マウント Cマウント
カメラ寸法 35(W) X 35(H) X 40.7(0) mm
カメラ重量 約69g

画像処理部仕様

デジタル画像測定器 測定内容:線幅、円径(円弧、面積、角度、エッジ、間隔)
測定再現性 3σ=0.01µm(対物100倍、AF動作にて繰り返し測定)
最小表示 0.001µm
線幅エッジ検出 ネガ、ポジ、内―内、外―外、内―外、ボトムーボトムなど選択可能
校正値 レンズ倍率にあわせて20種類登録が可能
データ出力 測定結果のCSVデータ、測定結果画像(BMP/JPG)の保存が可能
OS/CPU Windows10 pro 64bit/インテル Core i5 プロセッサー
内蔵メモリ/H00ドライブ 8GB/500GB
インターフエイス CameraLink、USB2.0/3.0、RS232C、LAN

オートフォーカス(オプション)仕様

AF方式 デジタルカメラの映像信号の画像処理方式
合焦精度 対物レンズの焦点深度の約1/3以内
AF検出位置 映像視野内の任意の高さと領域の設定でAF可能
z軸制御 5相ステッピングモーター(標準)
z軸分解能 0.005µm(組み合わせるステージによる)

測定精度

対物レンズ 映像視野(µm) 1画素分解能(µm) 繰返し精度3σ(µm)
100倍 約70X53 約0.0345 0.01
50倍 約139X106 約0.069 0.02
20倍 約348X265 約0.1725 0.05
10倍 約696X530 約0.345 0.10
5倍 約1,391X1,060 約0.69 0.20

 

※繰返し精度は、オートフォーカスを使用し、サンプルの入れ替えはなしで、照明等同じ測定条件で10回測定した3σの値です。(サンプルの条件により上記と異なることがあります)
※数値は、320万画素モノクロカメラMAR-300Bで測定したものです。

システム構成接続図

顕微鏡、液晶モニター、AFユニット、モーターカプラは、オプション。