ワークのうねりに追従した、インライン検査に最適!


《特徴》

弊社独自の高速画像AFセンサーによる追従オートフォーカス
画像計測用のカメラは、高画素、高感度、高速度カメラ等の選択が自由
ワークの高さ、段差情報をリアルタイムに表示
ウェハ鏡面やガラスなどの透明体にも追従可能。

《用途》
●外観検査(FPD)
●リペア装置(液晶、有機EL、半導体ウェハ)
●ガラスマスクの検査
●顕微鏡観察/計測システム

《スペック》
●適応カメラ: VGA 〜 2500万画素カメラに対応
●追従範囲: ±200μm(対物レンズ10倍) ※参考値
●再現性: ± 1μm(対物レンズ10倍) ※参考値