システム機能

●AS-10 変  倍: 12倍ズーム
  撮  像: 蛍光、近赤外、明視野
   
●AS-20 変  倍: 12倍
  測定機能: 微少線幅
  測定単位: 0.01μm
   
●AS-30 変  倍: 12倍
  測定機能: 白色干渉方式段差測定
  測定単位: 0.01μm

システム構成

システム AS-10 AS-20 AS-30
ズームマイクロスコープ
明視野対物レンズ  
ミラウ干渉対物レンズ    
明視野Mカセット  
蛍光Mカセット    
赤外蛍光Mカセット    
バンドパスMカセット  
2光束Mカセット    
フリーアングルスタンド
落射試料スタンド    
透過、落射試料スタンド    
EM-CCDカメラ  
200万画素CCDカメラ  
オートフォーカス  
フォーカスカプラー  
ハロゲン照明    
メタハラ照明  
ファイリングソフト  
微少寸法計測ソフト  
干渉段差計測ソフト      

ソフトウェアー

FlvF
s画像ファイリングソフト
  FlvRec
動画記録ソフト
  FlvDk
段差計測ソフト
FlvLw
微小線幅計測ソフト
  FlvMt
自動2次元形状計測ソフト
  Flvlcmp
比較検査ソフト

ズームマイクロスコープ

ズーム比 12倍(0.83×〜10x)
対物レンズ 15X、30X、50X
WD 46mm、35mm、14mm
対照波長 400nm〜900nm(可視〜近赤外)
結像レンズ 無限遠
Mカセット 可視像、可視蛍光像、近赤外蛍光像
2光束、単光束
撮像サイズ Cマウント、φ8mm(1/2型CCD対応)

フリーアングルスタンド

フリーアングル ±90度
フォーカス 粗微動駆動
オートフォーカス 粗微動にモーターカプラー
ステージ 落射方式、透過方式

超高感度EM-CCDカラーカメラ

撮像素子 1/2型EM-CCD カラー
総画素 658(H)×498(V)約33万画素
フレームレート 30fps
感度波長 400nm〜1100nm
感度調整 高電子倍増方式、蓄積方式
カラーフィルター 赤外カットフィルター ON/OFF切替
映像出力 カラー/モノクロ
映像出力 NTSC、USB
レンズマウント Cマウント

高解像度CCDカラーカメラ

撮像素子 1/1.8型CCD カラー
総画素 640(H)×1236(V)約210万画素
フレームレート 30fps
映像出力 カラー/モノクロ
映像出力 Camera Link Pocl 10bit
レンズマウント Cマウント

オートフォーカスユニット

入力信号 210万画素カラーカメラ
総画素 1640(H)×1236(V)約210万画素
合焦方式 画像処理方式
豪焦速度 1秒〜0.2秒 (使用対物レンズによる)
豪焦精度 1μm〜0.1μm(使用対物レンズによる)
フォーカス駆動 粗微動モーターカプラー/パルスステージ

Mカセット

蛍光撮影 明視野、蛍光各種、近赤外蛍光
微少寸法計測 明視野、バンドパス
干渉段差計測 明視野, 2光束

オプション光学系

赤外ズームスコープ

【光学系ズーム比】0.83x〜10x
赤外、蛍光、単焦点スコープ
オートフォーカスズームスコープ

【AF用カメラ】
標準:アナログカメラ
オプション:高速度(500fps)カメラ
  オートフォーカス単焦点スコープ

【AF用カメラ】
標準:アナログカメラ
オプション:高速度(500fps)カメラ