ズーム顕微鏡とデジタルカメラでの撮像で低倍から高倍まで高精度の微小寸法計測システム。



特長
●半導体ウェーハの約1.0μmまでの線幅測定
●高精細デジタルカメラで0.01μmの再現性
●自動線幅エッジ検出機能搭載(ボトム、インサイド等)
●エリアの指定で簡単測定
●傾いた線幅も1クリックで自動測定
●カメラ+オートフォーカスユニット(オプション)の組み合わせ
→フォーカスを自動で行うことより、人による測定誤差を低減
●既存顕微鏡への後付け可能