ミラウ干渉対物レンズでの撮像画像から白色干渉ピークを求めその位相ずれから自動的に
撮像視野内の段差を計測するシステム。



【計測機能】
■自動校正
緑光の1/2Λ派長よりカメラの1画素の段差を自動校正、傾き、光学倍率が変化しても自動追尾可能。
  ■自動段差計測
画像の2点の干渉強度のピークの座標を求め、段差を自動的に計測します。
  ■自動段差計測プロファイル
画像の水平方向の干渉強度のピーク座用を連続的に表示し連続的な段差表示をします。

0.05μm位からの微少サン
プルでも測定できます。
【ミラウ干渉対物レンズ】
対物レンズの中にハーフミラーを内蔵し、試料の焦点距離と同じ位置に参照ミラーを配置する。試料面からの光と参照ミラーから反射した光が干渉すると、焦点が有っている位置では両方が重なり合って鮮明な干渉縞が得られます。わずかな段差があれ
ば干渉縞のコントラストが変化します。