ワークのうねりに追従し、段差や形状を自動測定!


《特徴》

弊社独自の高速画像AFセンサーにより段差や深さを測定
同時に微小寸法測定が可能
ウェハ鏡面やガラスなどの透明体にもAF可能
ワーク表面のうねりを測定するプロファイル機能(オプション)

《用途》
●電子部品や精密加工部品の段差測定
●LCDやOLEDの検査
●半導体ウェハやプリント基板の検査
●ガラスマスクの検査

《スペック》
●追従範囲: ±60μm(対物レンズ10倍) ※参考値
●再現性: ± 1μm(対物レンズ10倍) ※参考値