《特長》
●高精細デジタルカメラで0.02μmの再現性
●傾いた線幅も1クリックで自動測定
●PC上から顕微鏡を制御可能(対物変換、調光等を制御できます)
●高精細画像をPCに高速ファイリング

《用途》
●半導体ウェハ−の約1μmまでの線幅測定
●液晶セルの幅測定
●TAB、リードフレームの各部線幅測定
●フォトマスクの線幅測定
●電子部品の各部幅測定

《線幅測定システム例》


《計測画像》

フォトマスク

TAB