《特長》
●高精細デジタルカメラで0.02μmの再現性
●傾いた線幅も１クリックで自動測定
●PC上から顕微鏡を制御可能（対物変換、調光等を制御できます）
●高精細画像をPCに高速ファイリング
《用途》
●半導体ウェハ−の約1μmまでの線幅測定
●液晶セルの幅測定
●TAB、リードフレームの各部線幅測定
●フォトマスクの線幅測定
●電子部品の各部幅測定
《線幅測定システム例》
《計測画像》
フォトマスク
TAB
